Dodávateľ terčov na naprašovanie volfrámu
Bežné typy kovových terčov sú nasledovné:
Klasické kovové terče: horčík Mg, mangán Mn, železo Fe, kobalt Co, nikel Ni, meď Cu, zinok Zn, olovo Pd, cín Sn, hliník Al
Malé kovové terče: Indium, Germánium Ge, Gálium Ga, Antimón Sb, Bizmut Bi, Kadmium Cd
Žiaruvzdorné kovové terče materiály Titán Ti, Zirkón Zr, Hafnium Hf, Vanád V, Niób Nb, Tantal Ta, Chróm Cr, Molybdén Mo, Tungsten W, Rhenium Re
Výroba terčov na naprašovanie volfrámu
Terče z drahých kovov: zlato Au, striebro Ag, paládium Pd, platina Pt, irídium Ir, ruténium Ru, ródium Rh, osmium Os
Polokovové terče: uhlík C, bór B, telúr Te, selén Se
Kovové terče vzácnych zemín gadolínium Gd, samárium Sm, dysprosium Dy, cér Ce, ytrium Y, lantán La, ytterbium Yb, erbium Er, terbium Tb, holmium Ho, thulium Tm, neodymium Nd, prazeodým Pr, lutécium Eu scandium, europium Sc
Keramický terč oxid hlinitý a zinočnatý AZO, oxid india a cínu ITO, oxid zinočnatý ZnO, nitrid hliníka AlN, nitrid titánu TiN, nitrid bóru BN, titaničitan bárnatý BaTiO3, titaničitan bizmutitý BiTiO3, karbid kremíka SiC, stroncium tusteng titaničitan SrTiC, karbid titánu stroncia WC, niobát lítny LiNbO3
Faktpry cieľa Tungsten Sputtering Target
Medzi zliatinové terče patrí zliatina zlata a cínu AuSn, zliatina zlata, germánia a niklu AuGeNi, zliatina zinku a hliníka ZnAl, zliatina hliníka a medi AlCu, zliatina kobaltu, železa a bóru CoFeB, zliatina železa a mangánu FeMn, zliatina irídium-mangán IrMn, zirkónium -zliatina titánu ZrTi, zliatina niklu a chrómu NiCr, zliatina medi indium a gália CuInGa, zliatina medi zinok cín síry CZTS
