80 % WTi
1. Cieľová údržba
Aby sa predišlo skratom a iskreniu spôsobenému nečistými dutinami počas procesu naprašovania, je potrebné pravidelne odstraňovať naprašovanú hmotu nahromadenú v strede a na oboch stranách dráhy naprašovania. To tiež pomáha používateľom nepretržite pracovať s vysokou hustotou výkonu. Vykonajte naprašovanie.
2. Cieľové úložisko
Odporúčame používateľom skladovať terče (či už kovové alebo keramické) vo vákuových obaloch. Najmä laminovacie terče musia byť skladované v podmienkach vákua, aby sa zabránilo oxidácii laminačnej vrstvy ovplyvňovať kvalitu laminácie. Čo sa týka balenia kovových terčov, odporúčame ich baliť minimálne do čistých plastových vriec.
80% dodávateľ terčov na naprašovanie volfrámu
3. Cieľové čistenie
Prvým krokom je čistenie mäkkou handričkou, ktorá nepúšťa vlákna, namočenou v acetóne;
Druhý krok je podobný prvému kroku, na čistenie použite alkohol;
Tretím krokom je čistenie deionizovanou vodou. Po očistení deionizovanou vodou sa terč umiestnil do sušiarne pri teplote 100 stupňov Celzia na 30 minút. Na čistenie oxidových a keramických terčov sa odporúča použiť „utierku, ktorá nepúšťa vlákna“.
Štvrtým krokom je prepláchnutie terča vysokotlakovým argónovým plynom s nízkou vlhkosťou, aby sa odstránili všetky nečisté častice, ktoré môžu spôsobiť iskrenie v rozprašovacom systéme.
4. Kontrola skratu a tesnenia
Po inštalácii terča je potrebné skontrolovať celú katódu na skrat a utesnenie. Na zistenie, či na katóde nie je skrat, sa odporúča použiť merač odporu. Po potvrdení, že na katóde nie je žiadny skrat, môžete vykonať kontrolu úniku vody a prepustiť vodu do katódy, aby ste zistili, či nedochádza k úniku vody.
Výroba terčov na naprašovanie 80% volfrámu
5. Balenie a preprava
Všetky terče sú balené vo vákuovo zatavených plastových vrecúškach s prostriedkom odolným voči vlhkosti. Vonkajší obal je vo všeobecnosti drevená škatuľa s antikolíznou vrstvou okolo nej, ktorá chráni terč a podpornú dosku pred poškodením počas prepravy a skladovania.
