WTi
Čistota
Čistota je jedným z hlavných ukazovateľov výkonu cieľového materiálu, pretože čistota cieľového materiálu má veľký vplyv na výkon fólie. V praktických aplikáciách sú však požiadavky na čistotu cieľových materiálov tiež odlišné. Napríklad s rýchlym rozvojom mikroelektronického priemyslu sa veľkosť kremíkových doštičiek zväčšila zo 6", 8" na 12", pričom šírka vedenia sa zmenšila z 0,5 um na 0 .25um, 0.18um alebo dokonca 0.13um Predchádzajúca cieľová čistota bola 99,995 % Môže spĺňať požiadavky procesu 0.35umIC, ale cieľová čistota potrebná na prípravu {. {15}}.18um riadkov je 99,999 % alebo dokonca 99,9999 %.
Dodávateľ terčov na naprašovanie volfrámu
Obsah nečistôt
Nečistoty v cieľovej pevnej látke a kyslík a vodná para v póroch sú hlavnými zdrojmi znečistenia pre deponované filmy. Cieľové materiály pre rôzne použitia majú tiež rôzne požiadavky na rôzne obsahy nečistôt. Napríklad terče z čistého hliníka a zliatin hliníka používané v polovodičovom priemysle majú špeciálne požiadavky na obsah alkalických kovov a obsah rádioaktívnych prvkov.
Hustota
Aby sa zmenšili póry v pevnom materiáli terče a zlepšila sa výkonnosť naprašovaného filmu, zvyčajne sa vyžaduje, aby materiál terča mal vyššiu hustotu. Hustota terča ovplyvňuje nielen rýchlosť rozprašovania, ale ovplyvňuje aj elektrické a optické vlastnosti filmu. Čím vyššia je cieľová hustota, tým lepší je výkon filmu. Okrem toho zvýšenie hustoty a pevnosti materiálu terča umožňuje materiál terča lepšie odolávať tepelnému namáhaniu počas procesu naprašovania. Hustota je tiež jedným z kľúčových ukazovateľov výkonnosti cieľových materiálov.
Výroba terčov na naprašovanie volfrámu
Veľkosť zŕn a distribúcia veľkosti zŕn
Obvykle má cieľový materiál polykryštalickú štruktúru a veľkosť zrna sa môže pohybovať od mikrónov do milimetrov. Pre rovnaký materiál terče je rýchlosť naprašovania terča s jemnými zrnami vyššia ako u terča s hrubými zrnami; zatiaľ čo terč s menším rozdielom veľkosti zrna (rovnomerné rozloženie) bude mať rovnomernejšie rozloženie hrúbky filmu naneseného naprašovaním.
